一、功能：

无损检测。

二、参数：

1、波长范围：200nm~800nm，测试温度范围室温至1700℃，放大倍率1000X；

2、激光共聚焦显微镜：放大倍率1000X；

3、水氧耦合腐蚀装置：最高温度1500℃（氧/空气比例可任意调节）；

4、阻抗分析仪：阻抗频率范围10μHZ至32MHZ，分辨率0.01分贝；

5、中央控制平台：光纤、化学元件、微电机械系统、各测试单元、计算机的集成。